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1、简介

掩膜版，也称为光罩、光掩膜或光刻掩膜版，是微电子制造过程中的重要工具，主要用于图形转移。在光刻过程中，掩膜版承载了设计图形，将其转移到光刻胶上，再经过刻蚀等工艺，将图形刻到衬底上，从而实现图形到硅片的转移。这一过程类似于传统照相机的“底片”。

掩膜版的制造工艺流程包括数据准备、光刻、显影、定影和检测等步骤。在数据准备阶段，将图形数据库中的设计数据转换为掩膜版上的实际图形。在光刻阶段，利用光化学反应将图形转移到硅片上。在显影和定影阶段，通过化学试剂将光刻胶上的图形显现和固定在硅片上。最后，在检测阶段，对硅片上的图形进行检测和测量，确保其符合设计要求。

掩膜版材料主要包括铬、铝、铜等金属以及氟化钡、氟化钙等非金属化合物。

2、产业链

掩膜版产业链上游为原材料生产和设备制造，原料主要包括高纯度石英锭、光刻胶、基板、光刻机，设备主要用到母板、基台、张网机、焊接机等；中游为掩膜版制造，根据产品的不同分为铬版、干版、液体凸版和凸版;根据用途的不同分为IC、FPD、PCB、MEMS用掩膜版等;根据组成成分的不同，可分为树脂/玻璃基板掩膜版、乳胶/硬质遮光膜掩膜版等；下游主要应用在半导体、平板显示、触控等产业中。

图表 1 中国掩膜版产业链全景

3、行业现状

2017-2021年国内平板显示掩膜版市场占全球的比重在32%-54%之间，逐年递增，全球平板显示掩膜版市场规模也从2017年的47亿元上升至56亿元。另依据瞭原调研报告网数据，我国平板显示掩膜版市场规模约占整体掩膜版市场规模的28%。依据以上数据进行测算，2017-2021年，我国掩膜版市场规模整体呈上升趋势(除2020年有所下降)，2020年全球光掩膜版市场规模达41.88亿美元，研精毕智分析师预计2023年将达51亿美元。

图表 2 2017-2022年中国掩膜版市场规模

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