
4月7日,中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”)微观加工设备研发中心项目签约活动在南昌举行。此次签约标志着中微公司与南昌高新区的合作进入新阶段,也意味着南昌在半导体产业尤其是第三代半导体领域的发展迎来新机遇。
根据研精毕智咨询公司研究报告,中微公司此次签约的微观加工设备研发中心项目,将扩大在南昌高新区的研发投入力度。项目重点聚焦于多个关键领域,包括用于先进封装产业半导体制造相关设备与工艺的开发、第三代半导体(碳化硅和氮化镓)功率器件相关制造设备与工艺的开发、Micro LED用MOCVD设备应用推广以及Mini LED用MOCVD设备性能提升等。这些研发方向不仅契合当前半导体产业的发展趋势,也体现了中微公司在高端微观加工设备领域的技术实力和战略布局。公开资料显示,在第三代半导体领域,中微公司已经取得了显著进展。中微公司推出了用于氮化镓功率器件生产的MOCVD设备PrismoPD5,目前已交付国内外领先客户进行生产验证,并取得了重复订单;其中微公司启动了SiC功率器件外延生产设备的开发,并取得了较大的技术进展。公司已将样机付运至客户端开展生产验证,并正与多家客户正在推进合作。
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