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1、行业定义

电子束曝光系统EBL，又称电子束暴光系统，是一种利用电子束在工件面上扫描直接产生图形的装置。由于SEM、STEM及FIB的工作方式与电子束曝光机十分相近，美国JC Nabity Lithography Systems公司是最早研发了基于改造商品SEM、STEM或FIB的电子束曝光装置（Nanometer Pattern Generation System纳米图形发生系统，简称NPGS，又称电子束微影系统）。

2、研究结论

针对电子束曝光系统市场来讲，中国的电子束曝光系统目前处于研发阶段，并无商业化生产产品，产品主要依附于国外进口。

据研究报告显示，全球电子束曝光系统市场主要集中在美国，欧洲和日本，产量最大的6个公司为Raith，Vistec，JEOL，Elionix，Crestec，NanoBeam，全球6家电子束曝光系统生产企业占全球市场的80%，整个市场呈现寡头多聚。

3、全球电子束曝光系统（EBL）市场主要企业名单及介绍

图：全球市场电子束曝光系统（EBL）主要厂商2019年产值市场份额列表

3.1 Raith

Raith作为领先的纳米加工领域的精密仪器制造商，产品覆盖了电子束曝光机，聚焦离子束系统，纳米工程和逆向工程应用设备等。2016年Raith市场产值为0.38亿美元。

3.2 Vistec

Vistec Electron Beam GmbH是设计和制造电子束光刻系统的领导者。该公司为主要的半导体制造商和Advanced Research提供系统。  2016年Vistec市场产值为0.25亿美元。

3.3 JEOL

JEOL有限公司有四个业务部门，Electron Optics制造扫描电子显微镜，透射电子显微镜和扫描探针显微镜以及相关设备。“分析仪器”部分的产品包括质谱仪，核磁共振和电子自旋共振设备。工业设备部门涵盖了一系列专门针对半导体行业的设备，例如电子束源，晶圆工艺监控器和等离子枪系列。最后，医疗设备部门制造自动分析设备，临床诊断系统和氨基酸分析仪。2016年JEOL市场产值为0.18亿美元。

3.4 Elionix 

Elionix具有电子束，离子束，光学和X射线应用技术的系统和设备的研究，开发，工程，制造，销售和维护服务。2016年Elionix市场产值为0.14亿美元。

3.5 Crestec

Crestec公司提供EB光刻的代工服务，其可以撰写DFB-LD生产的精细光栅图案，以及任何种类的研发图案。有超过20年的电子束光刻经验。2016年Crestec市场产值为0.04亿美元。

3.6 NanoBeam

NanoBeam成立于2002年，致力于开发和制造先进的电子束光刻系统。所有员工都具有电子束系统的长期经验，并在该领域的多家公司工作过。2016年NanoBeam市场产值为0.03亿美元。

4、电子束曝光系统（EBL）产品分类及市场调研

高斯电子束曝光系统：2016年市场产值为0.9亿美元，市场份额为71.93%

成型电子束曝光系统：2016年市场产值为0.35亿美元，市场份额为28.07%

5、电子束曝光系统（EBL）应用领域市场分析

学术领域：2019年市场份额为62%

工业领域：2019年市场份额为33.43%

图：2019年全球市场电子束曝光系统（EBL）主要应用领域消费量市场份额

6、全球主要地区电子束曝光系统（EBL）市场规模

图：2018年全球主要地区电子束曝光系统（EBL）产值市场份额

6.1 美国

2018年美国电子束曝光系统（EBL）市场产值为0.21亿美元

图：美国市场电子束曝光系统（EBL）2014-2025年产值及增长率

6.2 欧洲

2018年欧洲电子束曝光系统（EBL）市场产值为0.67亿美元

图：欧洲市场电子束曝光系统（EBL）2014-2025年产值及增长率

6.3 日本

2018年日本电子束曝光系统（EBL）市场产值为0.4亿美元

图：日本市场电子束曝光系统（EBL）2014-2025年产值及增长率

第一章 行业概述及全球与中国市场发展现状

1.1 电子束曝光系统（EBL）行业简介

1.1.1 电子束曝光系统（EBL）行业界定及分类

1.1.2 电子束曝光系统（EBL）行业特征

1.2 电子束曝光系统（EBL）产品主要分类

1.2.1 不同类型电子束曝光系统（EBL）增长趋势（2019-2025年）

1.2.2 高斯电子束曝光系统

1.2.3 成型电子束曝光系统

1.3 电子束曝光系统（EBL）主要应用领域分析

1.3.1 学术领域

1.3.2 工业领域

1.4 全球与中国市场发展现状对比

1.4.1 全球市场发展现状及未来趋势（2014-2025年）

1.4.2 中国生产发展现状及未来趋势（2014-2025年）

1.5 全球电子束曝光系统（EBL）供需现状及预测（2014-2025年）

1.5.2 全球电子束曝光系统（EBL）产量、表观消费量及发展趋势（2014-2025年）

1.5.3 全球电子束曝光系统（EBL）产量、市场需求量及发展趋势（2014-2025年）

1.6 中国电子束曝光系统（EBL）供需现状及预测（2014-2025年）

1.6.3 中国电子束曝光系统（EBL）产量、市场需求量及发展趋势（2014-2025年）

1.7 电子束曝光系统（EBL）中国及欧美日等行业政策分析

第二章 全球与中国主要厂商电子束曝光系统（EBL）产量、产值及竞争分析

2.1 全球市场电子束曝光系统（EBL）主要厂商2017-2019年产量、产值及市场份额

2.1.1 全球市场电子束曝光系统（EBL）主要厂商2017-2019年产量列表

2.1.2 全球市场电子束曝光系统（EBL）主要厂商2017-2019年产值列表

2.1.3 全球市场电子束曝光系统（EBL）主要厂商2017-2019年产品价格列表

2.2 电子束曝光系统（EBL）厂商产地分布

2.3 电子束曝光系统（EBL）行业集中度、竞争程度分析

2.3.1 电子束曝光系统（EBL）行业集中度分析

2.3.2 电子束曝光系统（EBL）行业竞争程度分析

2.4 电子束曝光系统（EBL）全球领先企业SWOT分析

第三章 从生产角度分析全球主要地区电子束曝光系统（EBL）产量、产值、市场份额、增长率及发展趋势

3.1 全球主要地区电子束曝光系统（EBL）产量、产值及市场份额（2014-2025年）

3.1.1 全球主要地区电子束曝光系统（EBL）产量及市场份额（2014-2025年）

3.1.2 全球主要地区电子束曝光系统（EBL）产值及市场份额（2014-2025年）

3.2 美国市场电子束曝光系统（EBL）2014-2025年产量、产值及增长率

3.3 欧洲市场电子束曝光系统（EBL）2014-2025年产量、产值及增长率

3.4 日本市场电子束曝光系统（EBL）2014-2025年产量、产值及增长率

第四章 从消费角度分析全球主要地区电子束曝光系统（EBL）消费量、市场份额及发展趋势

4.1 全球主要地区电子束曝光系统（EBL）消费量、市场份额及发展预测（2014-2025年）

4.2 中国市场电子束曝光系统（EBL）消费量、增长率及发展预测（2014-2025年）

4.3 美国市场电子束曝光系统（EBL）消费量、增长率及发展预测（2014-2025年）

4.4 欧洲市场电子束曝光系统（EBL）消费量、增长率及发展预测（2014-2025年）

4.5 日本市场电子束曝光系统（EBL）消费量、增长率及发展预测（2014-2025年）

第五章 全球与中国电子束曝光系统（EBL）主要生产商分析

5.1 Raith

5.1.1 Raith基本信息介绍、生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

5.1.2 Raith电子束曝光系统（EBL）产品规格、参数及特点

5.1.3 Raith电子束曝光系统（EBL）产能、产量、产值、价格及毛利率（2014-2019年）

5.1.4 Raith主营业务介绍

5.2 Vistec

5.2.1 Vistec基本信息介绍、生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

5.2.2 Vistec电子束曝光系统（EBL）产品规格、参数及特点

5.2.3 Vistec电子束曝光系统（EBL）产能、产量、产值、价格及毛利率（2014-2019年）

5.2.4 Vistec主营业务介绍

5.3 JEOL

5.3.1 JEOL基本信息介绍、生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

5.3.2 JEOL电子束曝光系统（EBL）产品规格、参数及特点

5.3.3 JEOL电子束曝光系统（EBL）产能、产量、产值、价格及毛利率（2014-2019年）

5.3.4 JEOL主营业务介绍

5.4 Elionix

5.4.1 Elionix基本信息介绍、生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

5.4.2 Elionix电子束曝光系统（EBL）产品规格、参数及特点

5.4.3 Elionix电子束曝光系统（EBL）产能、产量、产值、价格及毛利率（2014-2019年）

5.4.4 Elionix主营业务介绍

5.5 Crestec

5.5.1 Crestec基本信息介绍、生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

5.5.2 Crestec电子束曝光系统（EBL）产品规格、参数及特点

5.5.3 Crestec电子束曝光系统（EBL）产能、产量、产值、价格及毛利率（2014-2019年）

5.5.4 Crestec主营业务介绍

5.6 NanoBeam

5.6.1 NanoBeam基本信息介绍、生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

5.6.2 NanoBeam电子束曝光系统（EBL）产品规格、参数及特点

5.6.3 NanoBeam电子束曝光系统（EBL）产能、产量、产值、价格及毛利率（2014-2019年）

5.6.4 NanoBeam主营业务介绍

第六章 不同类型电子束曝光系统（EBL）产量、价格、产值及市场份额

6.1 全球市场不同类型电子束曝光系统（EBL）产量、产值及市场份额

6.1.1 全球市场电子束曝光系统（EBL）不同类型电子束曝光系统（EBL）产量及市场份额（2014-2025年）

6.1.2 全球市场不同类型电子束曝光系统（EBL）产值、市场份额（2014-2025年）

6.1.3 全球市场不同类型电子束曝光系统（EBL）价格走势（2014-2025年）

6.2 中国市场电子束曝光系统（EBL）主要分类产量、产值及市场份额

6.2.1 中国市场电子束曝光系统（EBL）主要分类产量及市场份额及（2014-2025年）

第七章 电子束曝光系统（EBL）上游原料及下游主要应用领域分析

7.1 电子束曝光系统（EBL）产业链分析

7.2 电子束曝光系统（EBL）产业上游供应分析

7.2.1 上游原料供给状况

7.2.2 原料供应商及联系方式

7.3 全球市场电子束曝光系统（EBL）下游主要应用领域消费量、市场份额及增长率（2014-2025年）

7.4 中国市场电子束曝光系统（EBL）主要应用领域消费量、市场份额及增长率（2014-2025年）

第八章 中国市场电子束曝光系统（EBL）产量、消费量、进出口分析及未来趋势（2014-2025年）

8.1 中国市场电子束曝光系统（EBL）产量、消费量、进出口分析及未来趋势（2014-2025年）

8.2 中国市场电子束曝光系统（EBL）进出口贸易趋势

8.3 中国市场电子束曝光系统（EBL）主要进口来源

8.4 中国市场电子束曝光系统（EBL）主要出口目的地

8.5 中国市场未来发展的有利因素、不利因素分析

第九章 中国市场电子束曝光系统（EBL）主要地区分布

9.1 中国电子束曝光系统（EBL）消费地区分布

第十章 影响中国市场供需的主要因素分析

10.1 电子束曝光系统（EBL）技术及相关行业技术发展

10.2 进出口贸易现状及趋势

10.3 下游行业需求变化因素

10.4市场大环境影响因素

10.4.1中国及欧美日等整体经济发展现状

10.4.2国际贸易环境、政策等因素

第十一章 未来行业、产品及技术发展趋势

11.1 行业及市场环境发展趋势

11.2 产品及技术发展趋势

11.3 产品价格走势

11.4 未来市场消费形态

第十二章 电子束曝光系统（EBL）销售渠道分析及建议

12.1 国内市场电子束曝光系统（EBL）销售渠道

12.1.1直接销售

12.1.2间接销售

12.2 企业海外电子束曝光系统（EBL）销售渠道

12.3 电子束曝光系统（EBL）销售/营销策略建议

第十三章 研究成果及结论