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概述
调研大纲

中国市场离子注入设备主要生产商:
Applied Materials
AIBT汉辰科技
日新公司
上海凯世通半导体股份有限公司
北京博锐天成科技有限公司
北京中科信电子装备有限公司
离子注入设备产品主要分类:
低能大束流离子注入设备
高能离子注入设备
中低束离子注入设备
离子注入设备产品主要应用领域:
金属材料工业
半导体工业
其他

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